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    工業(yè)型原子力顯微鏡

    型 號FM-NanoviewLS-AFM

    更新時(shí)間2024-01-15

    所屬分類(lèi)工業(yè)型原子力顯微鏡

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    產(chǎn)品描述:工業(yè)型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實(shí)現樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;◆ 采用閉環(huán)三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測;◆ 龍門(mén)架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺;◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺,快速選擇感興趣的樣品區域;◆ 高倍光學(xué)定位系統,實(shí)現探針

    產(chǎn)品概述

    工業(yè)型原子力顯微鏡 
    FM-NanoviewLS-AFM
    ◆ 實(shí)現樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;
    ◆ 采用閉環(huán)三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;
    ◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測;
    ◆ 龍門(mén)架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺;
    ◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺,快速選擇感興趣的樣品區域;
    ◆ 高倍光學(xué)定位系統,實(shí)現探針

    工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數

    ◆ 基本工作模式:接觸、輕敲、F-Z力曲線(xiàn)測量、RMS-Z曲線(xiàn)測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力
    ◆ 選配工作模式:Profile線(xiàn)快速測量模式
    ◆ 最大樣品尺寸:Φ≥300mm,H≥50mm
    ◆ 閉環(huán)掃描范圍:XY向100um,Z向10um
    ◆ 閉環(huán)掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
    ◆ 樣品移動(dòng)范圍:300mm×300mm
    ◆ 輔助光學(xué)定位:10X物鏡,光學(xué)分辨率1um(可選配20X,光學(xué)分辨率0.8um)
    ◆ 氣動(dòng)式減震臺,減震頻率0.5Hz
    ◆ 噪音水平:<0.1nm
    ◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
    ◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
    ◆ 數據采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
    ◆ 反饋方式:DSP數字反饋
    ◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
    ◆ 通信接口:USB2.0/3.0
    ◆ 運行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統

     

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